平晶 具有兩個（或一個）光學測量平面的正圓柱形或長方形的量規。光學測量平面是表面粗糙度數值和平面度誤差都_小的玻璃平面，它能夠產生光波干涉條紋（見激光測長技術）。平晶有平面平晶和平行平晶兩種。平面平晶用于測量高光潔表面的平面度誤差，圖1a 平晶檢驗為用平面平晶檢驗量塊測量面的平面度誤差。平行平晶的兩個光學測量平面是相互平行的，用于測量兩高光潔表面的平行度誤差，例如千分尺兩測量面的平行度誤差（圖1b 平晶檢驗  ）。

平晶用光學玻璃或石英玻璃制造。圓柱形平面平晶的直徑通常為 45～150毫米。其光學測量平面的平面度誤差為：1級精度的為0.03～0.05微米；2級精度的為0.1微米。常見的長方形平面平晶的有效長度一般為200毫米。

平晶是利用光波干涉現象測量平面度誤差的﹐故其測量方法稱為平晶干涉法（圖2 平晶干涉法 ），也稱技術光波干涉法。

測量時，把平晶放在被測表面上，且與被測表面形成一個很小的楔角 ，以單色光源照射時會產生干涉條紋。干涉條紋的位置與光線的入射角有關。如入射光線垂直于被測表面，且平晶與被測表面間的間隙很小，則由平晶測量面P 反射的光線與被測表面反射的光線在測量面 P 發生干涉而出現明或暗的干涉條紋。若在白光下，則出現彩色干涉條紋。如干涉條紋平直，相互平行，且分布均勻，則表示被測表面的平面度很好；如干涉條紋彎曲﹐則表示平面度不好。其誤差值為，式中 為兩干涉條紋間距離，為干涉條紋的彎曲值，為光波波長，白光波長一般以0.6微米計算。